Keithley「Pulse I-V 量測技術研討會」

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活動資訊Information

主辦單位 美商吉時利儀器股份有限公司
活動時間 2005年8月10日(三) 上午 08:00 ~ 08:00
費用資訊 酌收講義費NT $500
活動屬性 其他類別
活動地點 N/A / 新竹國賓大飯店10樓國際B廳

詳細介紹Intro

  • 活動對象:半導體物理、製程元件、可靠度分析及從事材料科學研究等業界及學術界相關人士

隨著次世代元件製程微縮及持續提高元件性能之下,愈來愈多新材料及新的製程技術被開發,現有直流電性量測技術逐漸無法有效偵測新製程的問題,以Pulse進行I-V掃描取代傳統的直流量測方式逐漸地受到重視。以SOI技術所開發出來的元件,例如Strain-Si MOSFET及FINFET元件,由於貧乏的熱散失機制使得直流IV曲線IV因為自我加熱現象而無法正確評估元件特性。此外電荷Trapping是決定high-k閘極材料是否能成功應用於現有CMOS製程的重要關鍵,傳統以IV或CV量測電荷Trapping現象因其所需量測時間遠短於現有DC量測儀器所能提供的範圍而必須改以Pulse方式偵測。

本公司特別邀請Keithley Instruments資深研究員-Yuegang Zhao舉辦此次技術研討會,針對目前high-k閘極材料及SOI技術元件所遭遇量測技術的挑戰及最新超短Pulse IV量測技術做一綜合性介紹,期能讓參與者可以瞭解如何利用Pulse IV正確地測量元件特性,也可以迅速且正確解讀數據。Keithley五十多年來一直專注於電性量測技術的提昇,希望藉此研討會與大家共同分享多年的量測經驗,協助各個領域的研究人士,建立完備的量測觀念和技巧,以俾在研究領域中拔得頭籌。

活動聯絡方式Cantact

聯絡人 朱小姐
電話 03-5729077-324
E-mail [email protected]